摘要

用于传感应用的不同形状微悬臂梁的建模

作者(年代):Navneet Gupta, Akshita Agarwal, Sagar Katdare

我们提出了不同形状的微悬臂梁(即矩形，t形和v形)的频率响应的比较，这是常用的传感应用。根据谐振频率和几何参数对其性能进行了测量。研究发现，对传感应用产生最佳灵敏度的整体悬臂设计是矩形微悬臂。在优化微悬臂梁的形状后，我们进行了基于材料性能的分析。在所有可能的候选材料中，碳化硅具有最高的谐振频率值。