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纳米晶体的制备氧化铝薄膜:审查

作者(年代):何鸿燊SM

如今,二元化合物,如氧化铝薄膜是众所周知的应用程序在一个广泛的微电子设备和光电。这项工作表明,可以准备使用各种沉积氧化铝薄膜的方法包括化学沉积法和物理沉积技术。表征薄膜是一个宽泛的科学。这里描述的电影是用x射线衍射、扫描电子显微镜、x射线光电子能谱、傅里叶变换红外吸收和紫外可见分光光度计。