文摘

激光熔化的温度依赖表面形态纳米晶体LiCoO2薄膜阴极

作者(年代):M.C.Rao

薄膜LiCoO2都增长了脉冲激光沉积技术在硅基板。微观结构特性研究对他们的沉积参数即衬底温度(Ts)、氧气分压(警察乙)和目标在沉积室组成。原子力显微镜(AFM)的数据表明,脉冲激光沉积LiCoO2薄膜均匀和统一的关于表面形貌。我‚的薄膜沉积在300°C的氧气分压100毫托(Li2O准备从目标15%)是由大约球形颗粒的大小不一,平均晶粒尺寸估计约80海里。晶粒尺寸增加随着衬底温度的增加。SEM结果支持了AFM的数据。LiCoO2电影的发展进行了研究与沉积参数的有效利用阴极材料在固态微电池的应用程序。